vFactory
Reference fab, simulação com seed e Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
O vFactory é uma nova área ao lado do DDS e do ALcad para processos de wafer e fabs.
Suas visualizações são Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation e EUV clip. O vFactory está disponível nos 14 idiomas compatíveis.
Reference fab
Uma fab de lógica com 300 equipamentos em quatro níveis.
A Reference fab abre uma fab de lógica com 300 equipamentos, incluindo quatro scanners EUV, em quatro níveis: sala limpa, andar de ventiladores, subfab e andar de utilidades. Escolha entre 200 e 400 equipamentos ou importe um arquivo de modelo de fab.
Zona de litografia
Premissas documentadas
Todos os valores numéricos de processo e de edificação são premissas documentadas, não dados de uma fab real.
2D e 3D
De cima ou na altura dos olhos.
Explore a fab em um mapa 2D, em 3D, de cima ou na altura dos olhos.
Simulação
Simulações da fab com seed.
As simulações da fab usam seed, então o mesmo seed gera o mesmo resultado. Você pode importar um arquivo de modelo de fab e executá-lo do início ao fim, incluindo janelas de manutenção preventiva e intervalos dos operadores.
- Reproduza uma simulação concluída na cena da fab em velocidade de 1× a 100.000×, com pausa, reinício e um controle deslizante de tempo.
- A reprodução mostra os estados dos equipamentos, os lotes e as movimentações de FOUP entre equipamentos, exatamente como o mecanismo os registrou.
Design to wafer
Abra um layout no Design to wafer.
Na visualização de layout GDS de um projeto do Cloud, Send to vFactory abre o Design to wafer com esse layout. Ele mostra um mapa de wafer de 300 mm, estimativas de rendimento de Poisson, Murphy e binomial negativa com a densidade de defeitos como premissa indicada, lotes na Reference fab, tempo de ciclo e entrega.
Mapa de wafer de 300 mm
Estimativas de rendimento de Poisson, Murphy e binomial negativa
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Você pode acompanhar um lote na fab 3D e salvar o resultado no projeto.
EUV calculation
Da fonte ao wafer.
O EUV calculation estima os orçamentos de fótons e de potência da fonte ao wafer, incluindo os espelhos multicamada de Mo/Si, com predefinições editáveis. O modelo não está calibrado e cada premissa está indicada.
Visualizações
Explore a fab.
Menu de produtos
No menu de produtos, escolha vFactory → Wafer Process & Fab, que antes ficava no ALcad.
Na altura dos olhos
Caminhe com W, A, S e D, abra portas com E e use as escadas.
Etiquetas dos equipamentos e distâncias
Siga uma visita guiada pelas áreas de processo, leia as etiquetas dos equipamentos e meça distâncias.
Dentro de um scanner EUV
Veja o interior de um scanner EUV em 3D. Seu movimento de varredura segue o EUV calculation.
EUV clip
O EUV clip calcula uma imagem aérea de máscara fina para um recorte de um layout GDS no seu dispositivo.
Process models
Dois painéis de dados medidos mostram modelos criados a partir de conjuntos de dados públicos. Eles são exemplos educacionais, não modelos da sua fab.
Limitações conhecidas
Verifique o fluxo de trabalho suportado.
- Com WebGPU, as visualizações 3D usam renderização realista em um nível de qualidade escolhido para a sua GPU. Sem WebGPU, o vFactory usa WebGL2 no nível Low e, sem nenhum dos dois, mostra a planta 2D.
- No EUV clip, a geração de imagens no Cloud ainda não está disponível. Use o ladrilhamento local no seu dispositivo.