vFactory
Reference fab, mô phỏng theo seed và Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory là khu vực mới bên cạnh DDS và ALcad dành cho quy trình wafer và nhà máy bán dẫn.
Các chế độ xem gồm Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation và EUV clip. vFactory có sẵn bằng cả 14 ngôn ngữ được hỗ trợ.
Reference fab
Một nhà máy logic gồm 300 thiết bị trên bốn tầng.
Reference fab mở một nhà máy logic gồm 300 thiết bị, trong đó có bốn máy quét EUV, trên bốn tầng: phòng sạch, tầng quạt, tầng subfab và tầng tiện ích. Chọn từ 200 đến 400 thiết bị hoặc nhập một tệp mô hình nhà máy.
Khu quang khắc
Giả định có ghi trong tài liệu
Mọi giá trị số về quy trình và tòa nhà đều là giả định có ghi trong tài liệu, không phải dữ liệu từ một nhà máy thật.
2D và 3D
Từ trên xuống hoặc ở tầm mắt.
Khám phá nhà máy trên bản đồ 2D, trong 3D, từ trên xuống hoặc ở tầm mắt.
Mô phỏng
Mô phỏng nhà máy theo seed.
Mô phỏng nhà máy dùng seed, nên cùng một seed cho cùng một kết quả. Bạn có thể nhập một tệp mô hình nhà máy và chạy từ đầu đến cuối, bao gồm các khung thời gian bảo trì phòng ngừa và giờ nghỉ của người vận hành.
- Phát lại một mô phỏng đã hoàn tất trong cảnh nhà máy với tốc độ từ 1× đến 100.000×, có tạm dừng, khởi động lại và thanh trượt thời gian.
- Bản phát lại hiển thị trạng thái thiết bị, các lô và việc di chuyển FOUP giữa các thiết bị đúng như engine đã ghi lại.
Design to wafer
Mở layout trong Design to wafer.
Trong chế độ xem layout GDS của một dự án Cloud, Send to vFactory mở Design to wafer với layout đó. Design to wafer hiển thị bản đồ wafer 300 mm, ước tính hiệu suất Poisson, Murphy và nhị thức âm với mật độ lỗi là giả định được ghi rõ, các lô trong Reference fab, thời gian chu kỳ và thời điểm giao hàng.
Bản đồ wafer 300 mm
Ước tính hiệu suất Poisson, Murphy và nhị thức âm
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Bạn có thể theo dõi một lô trong nhà máy 3D và lưu kết quả vào dự án.
EUV calculation
Từ nguồn đến wafer.
EUV calculation ước tính ngân sách photon và công suất từ nguồn đến wafer, bao gồm các gương đa lớp Mo/Si, với các thiết lập sẵn có thể chỉnh sửa. Mô hình không được hiệu chuẩn, và mọi giả định đều được ghi rõ.
Chế độ xem
Khám phá nhà máy.
Menu sản phẩm
Trong menu sản phẩm, chọn vFactory → Wafer Process & Fab, mục trước đây nằm trong ALcad.
Ở tầm mắt
Đi lại bằng W, A, S và D, mở cửa bằng E, dùng cầu thang.
Nhãn thiết bị và khoảng cách
Đi theo chuyến tham quan có hướng dẫn qua các khu vực quy trình, đọc nhãn thiết bị và đo khoảng cách.
Bên trong máy quét EUV
Xem bên trong một máy quét EUV trong 3D. Chuyển động quét của máy tuân theo EUV calculation.
EUV clip
EUV clip tính aerial image thin-mask cho một clip của layout GDS trên thiết bị của bạn.
Process models
Hai bảng dữ liệu đo hiển thị các mô hình được xây dựng từ bộ dữ liệu công khai. Đây là các ví dụ phục vụ học tập, không phải mô hình nhà máy của bạn.
Hạn chế đã biết
Kiểm tra quy trình được hỗ trợ.
- Khi có WebGPU, các chế độ xem 3D dùng kết xuất chân thực ở mức chất lượng được chọn cho GPU của bạn. Khi không có WebGPU, vFactory dùng WebGL2 ở mức Low, và khi không có cả hai, vFactory hiển thị mặt bằng 2D.
- Trong EUV clip, tạo ảnh trên Cloud chưa khả dụng. Hãy dùng tính năng chia ô cục bộ trên thiết bị của bạn.