vFactory
Reference fab, simulación con semilla y Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory es una nueva área junto a DDS y ALcad para procesos de obleas y fabs.
Sus vistas son Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation y EUV clip. vFactory está disponible en los 14 idiomas compatibles.
Reference fab
Una fab de lógica de 300 equipos en cuatro niveles.
Reference fab abre una fab de lógica de 300 equipos, incluidos cuatro escáneres EUV, en cuatro niveles: sala limpia, planta de ventiladores, subfab y planta de instalaciones. Elige entre 200 y 400 equipos o importa un archivo de modelo de fab.
Zona de litografía
Supuestos documentados
Todos los valores numéricos de proceso y de edificio son supuestos documentados, no datos de una fab real.
2D y 3D
Desde arriba o a la altura de los ojos.
Explora la fab en un mapa 2D, en 3D, desde arriba o a la altura de los ojos.
Simulación
Simulaciones de la fab con semilla.
Las simulaciones de la fab usan una semilla, así que la misma semilla da el mismo resultado. Puedes importar un archivo de modelo de fab y ejecutarlo de principio a fin, incluidas las ventanas de mantenimiento preventivo y los descansos de los operarios.
- Reproduce una simulación terminada en la escena de la fab a una velocidad de 1× a 100.000×, con pausa, reinicio y un control deslizante de tiempo.
- La reproducción muestra los estados de los equipos, los lotes y los movimientos de FOUP entre equipos, tal como los registró el motor.
Design to wafer
Abre un layout en Design to wafer.
En la vista de layout GDS de un proyecto de Cloud, Send to vFactory abre Design to wafer con ese layout. Muestra un mapa de oblea de 300 mm, estimaciones de rendimiento de Poisson, Murphy y binomial negativa con la densidad de defectos como supuesto indicado, los lotes en la Reference fab, el tiempo de ciclo y la entrega.
Mapa de oblea de 300 mm
Estimaciones de rendimiento de Poisson, Murphy y binomial negativa
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Puedes seguir un lote en la fab 3D y guardar el resultado en el proyecto.
EUV calculation
De la fuente a la oblea.
EUV calculation estima los balances de fotones y de potencia desde la fuente hasta la oblea, incluidos los espejos multicapa de Mo/Si, con preajustes editables. El modelo no está calibrado y cada supuesto está indicado.
Vistas
Explora la fab.
Menú de productos
En el menú de productos, elige vFactory → Wafer Process & Fab, que antes estaba en ALcad.
A la altura de los ojos
Camina con W, A, S y D, abre puertas con E y usa las escaleras.
Etiquetas de equipos y distancias
Sigue una visita guiada por las áreas de proceso, lee las etiquetas de los equipos y mide distancias.
Dentro de un escáner EUV
Mira dentro de un escáner EUV en 3D. Su movimiento de escaneo sigue lo calculado en EUV calculation.
EUV clip
EUV clip calcula una imagen aérea de máscara delgada para un recorte de un layout GDS en tu dispositivo.
Process models
Dos paneles de datos medidos muestran modelos creados a partir de conjuntos de datos públicos. Son ejemplos educativos, no modelos de tu fab.
Limitaciones conocidas
Comprueba el flujo de trabajo compatible.
- Con WebGPU, las vistas 3D usan renderizado realista con un nivel de calidad elegido para tu GPU. Sin WebGPU, vFactory usa WebGL2 en el nivel Low y, sin ninguno de los dos, muestra el plano 2D.
- En EUV clip, la generación de imágenes en Cloud aún no está disponible. Usa el teselado local en tu dispositivo.