vFactory
Reference fab, simulazione con seed e Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory è una nuova area accanto a DDS e ALcad dedicata ai processi su wafer e alle fab.
Le sue viste sono Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation ed EUV clip. vFactory è disponibile in tutte le 14 lingue supportate.
Reference fab
Una fab logica con 300 macchinari su quattro livelli.
Reference fab apre una fab logica con 300 macchinari, tra cui quattro scanner EUV, su quattro livelli: camera bianca, piano dei ventilatori, subfab e piano impianti. Scegli tra 200 e 400 macchinari o importa un file di modello di fab.
Zona di litografia
Ipotesi documentate
Tutti i valori numerici di processo e dell'edificio sono ipotesi documentate, non dati di una fab reale.
2D e 3D
Dall'alto o all'altezza degli occhi.
Esplora la fab su una mappa 2D, in 3D, dall'alto o all'altezza degli occhi.
Simulazione
Simulazioni della fab con seed.
Le simulazioni della fab usano un seed, quindi lo stesso seed dà lo stesso risultato. Puoi importare un file di modello di fab ed eseguirlo dall'inizio alla fine, comprese le finestre di manutenzione preventiva e le pause degli operatori.
- Riproduci una simulazione completata nella scena della fab a una velocità da 1× a 100.000×, con pausa, riavvio e un cursore temporale.
- La riproduzione mostra gli stati dei macchinari, i lotti e gli spostamenti dei FOUP tra i macchinari, esattamente come li ha registrati il motore.
Design to wafer
Apri un layout in Design to wafer.
Nella vista del layout GDS di un progetto Cloud, Send to vFactory apre Design to wafer con quel layout. Mostra una mappa del wafer da 300 mm, stime di resa secondo Poisson, Murphy e binomiale negativa con la densità dei difetti come ipotesi indicata, i lotti nella Reference fab, il tempo di ciclo e la consegna.
Mappa del wafer da 300 mm
Stime di resa secondo Poisson, Murphy e binomiale negativa
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Puoi seguire un lotto nella fab 3D e salvare il risultato nel progetto.
EUV calculation
Dalla sorgente al wafer.
EUV calculation stima i bilanci di fotoni e di potenza dalla sorgente al wafer, compresi gli specchi multistrato in Mo/Si, con preimpostazioni modificabili. Il modello non è calibrato e ogni ipotesi è indicata.
Viste
Esplora la fab.
Menu dei prodotti
Nel menu dei prodotti scegli vFactory → Wafer Process & Fab, che prima si trovava sotto ALcad.
All'altezza degli occhi
Cammina con W, A, S e D, apri le porte con E e usa le scale.
Etichette dei macchinari e distanze
Segui una visita guidata attraverso le aree di processo, leggi le etichette dei macchinari e misura le distanze.
All'interno di uno scanner EUV
Guarda all'interno di uno scanner EUV in 3D. Il suo movimento di scansione segue quanto calcolato in EUV calculation.
EUV clip
EUV clip calcola un'immagine aerea a maschera sottile per un ritaglio di un layout GDS sul tuo dispositivo.
Process models
Due pannelli di dati misurati mostrano modelli costruiti da set di dati pubblici. Sono esempi didattici, non modelli della tua fab.
Limitazioni note
Verifica il flusso di lavoro supportato.
- Con WebGPU, le viste 3D usano un rendering realistico con un livello di qualità scelto per la tua GPU. Senza WebGPU, vFactory usa WebGL2 al livello Low e, senza nessuno dei due, mostra la pianta 2D.
- In EUV clip, la generazione delle immagini in Cloud non è ancora disponibile. Usa la suddivisione locale in riquadri sul tuo dispositivo.