vFactory

Reference fab, seed आधारित सिमुलेशन और Design to wafer।

Windows · Linux · Cloud

3D, ऊपर से

vFactory, DDS और ALcad के साथ वेफ़र प्रक्रियाओं और फ़ैब के लिए एक नया क्षेत्र है।

इसके व्यू Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation और EUV clip हैं। vFactory सभी 14 समर्थित भाषाओं में उपलब्ध है।

Reference fab

चार स्तरों पर 300 टूल वाला एक लॉजिक फ़ैब।

Reference fab चार EUV स्कैनर सहित 300 टूल वाला एक लॉजिक फ़ैब खोलता है, जो चार स्तरों पर है: क्लीनरूम, फ़ैन डेक, सबफ़ैब और यूटिलिटी फ़्लोर। 200 से 400 तक टूल चुनें या कोई फ़ैब मॉडल फ़ाइल इंपोर्ट करें।

लिथोग्राफ़ी ज़ोन

लिथोग्राफ़ी ज़ोन

दस्तावेज़ित मान्यताएँ

दस्तावेज़ित मान्यताएँ

प्रक्रिया और भवन के सभी संख्यात्मक मान दस्तावेज़ित मान्यताएँ हैं, किसी वास्तविक फ़ैब का डेटा नहीं।

2D और 3D

ऊपर से या आँखों की ऊँचाई से।

फ़ैब को 2D मैप पर, 3D में, ऊपर से या आँखों की ऊँचाई से देखें।

2D मैप पर एचिंग क्षेत्र का एक हिस्सा

सिमुलेशन

seed आधारित फ़ैब सिमुलेशन।

फ़ैब सिमुलेशन seed का उपयोग करते हैं, इसलिए एक ही seed से एक ही परिणाम मिलता है। आप कोई फ़ैब मॉडल फ़ाइल इंपोर्ट करके उसे शुरू से अंत तक चला सकते हैं, जिसमें निवारक रखरखाव विंडो और ऑपरेटर ब्रेक शामिल हैं।

Design to wafer

किसी लेआउट को Design to wafer में खोलें।

किसी Cloud प्रोजेक्ट के GDS लेआउट व्यू में Send to vFactory उस लेआउट के साथ Design to wafer खोलता है। यह 300 mm वेफ़र मैप, दोष घनत्व को चिह्नित मान्यता मानकर Poisson, Murphy और negative binomial यील्ड अनुमान, Reference fab में लॉट, साइकिल टाइम और डिलीवरी दिखाता है।

Design to wafer
300 mm वेफ़र मैप

300 mm वेफ़र मैप

Poisson, Murphy और negative binomial यील्ड अनुमान

Poisson, Murphy और negative binomial यील्ड अनुमान

Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.

EUV calculation

स्रोत से वेफ़र तक।

EUV calculation संपादन योग्य प्रीसेट के साथ, Mo/Si मल्टीलेयर दर्पणों सहित, स्रोत से वेफ़र तक फ़ोटॉन और पावर बजट का अनुमान लगाता है। मॉडल कैलिब्रेट नहीं किया गया है, और हर मान्यता चिह्नित है।

व्यू

फ़ैब देखें।

उत्पाद मेन्यू

उत्पाद मेन्यू

उत्पाद मेन्यू में vFactory → Wafer Process & Fab चुनें, जो पहले ALcad के अंतर्गत था।

आँखों की ऊँचाई पर

आँखों की ऊँचाई पर

W, A, S और D से चलें, E से दरवाज़े खोलें, सीढ़ियों का इस्तेमाल करें।

टूल टैग और दूरियाँ

टूल टैग और दूरियाँ

प्रक्रिया क्षेत्रों के गाइडेड टूर का अनुसरण करें, टूल टैग पढ़ें और दूरियाँ मापें।

EUV स्कैनर के अंदर

EUV स्कैनर के अंदर

3D में EUV स्कैनर के अंदर देखें। इसकी स्कैन गति EUV calculation का अनुसरण करती है।

EUV clip

EUV clip आपके डिवाइस पर किसी GDS लेआउट के एक क्लिप के लिए thin-mask aerial image की गणना करता है।

Process models

दो मापे गए डेटा पैनल सार्वजनिक डेटा सेट से बने मॉडल दिखाते हैं। ये शैक्षिक उदाहरण हैं, आपके फ़ैब के मॉडल नहीं।

ज्ञात सीमाएँ

समर्थित कार्यप्रवाह जाँचें।

  • WebGPU होने पर 3D व्यू आपके GPU के लिए चुने गए गुणवत्ता स्तर पर यथार्थवादी रेंडरिंग का उपयोग करते हैं। WebGPU न होने पर vFactory Low स्तर पर WebGL2 का उपयोग करता है, और दोनों न होने पर 2D प्लान दिखाता है।
  • EUV clip में Cloud इमेजिंग अभी उपलब्ध नहीं है। अपने डिवाइस पर स्थानीय टाइलिंग का उपयोग करें।

वेफ़र प्रक्रियाओं और फ़ैब के लिए vFactory।