vFactory
リファレンスファブ、シード付きシミュレーション、Design to wafer。
Windows · Linux · Cloud
vFactoryは、DDSとALcadの隣に新しく加わった、ウェハープロセスとファブのための領域です。
ビューはリファレンスファブ、プロセスモデル、Design to wafer、EUV計算、EUVクリップです。vFactoryは対応する14言語すべてで利用できます。
リファレンスファブ
300台の装置を4つのフロアに配置したロジックファブ。
リファレンスファブでは、4台のEUVスキャナーを含む300台の装置を、クリーンルーム、ファンデッキ、サブファブ、ユーティリティフロアの4つのフロアに配置したロジックファブが開きます。装置を200〜400台の範囲で選ぶか、ファブモデルファイルをインポートします。
リソグラフィゾーン
文書化された仮定値
工程と建物の数値はすべて文書化された仮定値で、実際のファブのデータではありません。
2Dと3D
上から、または目の高さで。
2Dマップ、3D、上から、または目の高さでファブを見て回れます。
シミュレーション
シード付きファブシミュレーション。
ファブシミュレーションはシードを使うため、同じシードからは同じ結果が得られます。ファブモデルファイルをインポートし、予防保全の時間枠とオペレーターの休憩を含めて、最初から最後まで実行できます。
- 完了したシミュレーションは、ファブのシーンで1×〜100,000×の速度で再生でき、一時停止、リスタート、タイムスライダーを使えます。
- 再生では、装置の状態、ロット、装置間のFOUP搬送を、エンジンが記録したとおりに表示します。
Design to wafer
レイアウトをDesign to waferで開く。
CloudプロジェクトのGDSレイアウトビューでSend to vFactoryを選ぶと、そのレイアウトでDesign to waferが開きます。300 mmウェハーマップ、欠陥密度を明示した仮定値とするPoisson・Murphy・負の二項分布の歩留まり推定、リファレンスファブ内のロット、サイクルタイム、納期を表示します。
300 mmウェハーマップ
Poisson・Murphy・負の二項分布の歩留まり推定
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- 3Dファブでロットを追跡し、結果をプロジェクトに保存できます。
EUV計算
光源からウェハーまで。
EUV計算は、編集可能なプリセットを使い、Mo/Si多層膜ミラーを含めて、光源からウェハーまでのフォトンバジェットとパワーバジェットを推定します。このモデルは較正されておらず、すべての仮定値を明示しています。
ビュー
ファブを見て回る。
製品メニュー
製品メニューでvFactory → ウェハープロセス・製造を選びます。この項目は以前はALcadの下にありました。
目の高さで
W、A、S、Dで歩き、Eでドアを開け、階段を使えます。
装置タグと距離
ガイドツアーに沿って工程エリアを巡り、装置タグを読み、距離を測定できます。
EUVスキャナーの内部
EUVスキャナーの内部を3Dで見ることができます。スキャン動作はEUV計算に従います。
EUVクリップ
EUVクリップは、GDSレイアウトのクリップについて、thin-maskの空間像をお使いのデバイス上で計算します。
プロセスモデル
2つの計測データパネルは、公開データセットから作成したモデルを表示します。これらは教育用の例であり、お使いのファブのモデルではありません。
既知の制限事項
対応するワークフローを確認する。
- WebGPUがあれば、3DビューはGPUに合わせて選ばれた品質段階でリアルにレンダリングされます。WebGPUがない場合、vFactoryはLow段階のWebGL2を使い、どちらもない場合は2D平面図を表示します。
- EUVクリップでは、Cloudでのイメージングはまだ利用できません。お使いのデバイスでローカルタイリングを使用してください。