vFactory
Reference fab, simulasi dengan seed, dan Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory adalah area baru di samping DDS dan ALcad untuk proses wafer dan fab.
Tampilannya adalah Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation, dan EUV clip. vFactory tersedia dalam ke-14 bahasa yang didukung.
Reference fab
Fab logika dengan 300 peralatan di empat tingkat.
Reference fab membuka fab logika dengan 300 peralatan, termasuk empat pemindai EUV, di empat tingkat: ruang bersih, dek kipas, subfab, dan lantai utilitas. Pilih 200 hingga 400 peralatan atau impor berkas model fab.
Zona litografi
Asumsi yang terdokumentasi
Semua nilai numerik proses dan bangunan adalah asumsi yang terdokumentasi, bukan data dari fab nyata.
2D dan 3D
Dari atas atau setinggi mata.
Jelajahi fab pada peta 2D, dalam 3D, dari atas, atau setinggi mata.
Simulasi
Simulasi fab dengan seed.
Simulasi fab menggunakan seed, sehingga seed yang sama memberikan hasil yang sama. Anda dapat mengimpor berkas model fab dan menjalankannya dari awal hingga akhir, termasuk jendela pemeliharaan preventif dan waktu istirahat operator.
- Putar ulang simulasi yang telah selesai di adegan fab dengan kecepatan 1× hingga 100.000×, dilengkapi jeda, mulai ulang, dan penggeser waktu.
- Pemutaran ulang menampilkan status peralatan, lot, dan perpindahan FOUP antarperalatan persis seperti yang direkam oleh mesin simulasi.
Design to wafer
Buka layout di Design to wafer.
Di tampilan layout GDS pada proyek Cloud, Send to vFactory membuka Design to wafer dengan layout tersebut. Design to wafer menampilkan peta wafer 300 mm, estimasi yield Poisson, Murphy, dan binomial negatif dengan kepadatan cacat sebagai asumsi yang diberi label, lot di Reference fab, waktu siklus, dan pengiriman.
Peta wafer 300 mm
Estimasi yield Poisson, Murphy, dan binomial negatif
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Anda dapat mengikuti sebuah lot di fab 3D dan menyimpan hasilnya ke proyek.
EUV calculation
Dari sumber hingga wafer.
EUV calculation memperkirakan anggaran foton dan daya dari sumber hingga wafer, termasuk cermin multilapis Mo/Si, dengan preset yang dapat diedit. Model ini tidak dikalibrasi, dan setiap asumsi diberi label.
Tampilan
Jelajahi fab.
Menu produk
Di menu produk, pilih vFactory → Wafer Process & Fab, yang sebelumnya berada di bawah ALcad.
Setinggi mata
Berjalan dengan W, A, S, dan D, buka pintu dengan E, gunakan tangga.
Tag peralatan dan jarak
Ikuti tur berpemandu melalui area proses, baca tag peralatan, dan ukur jarak.
Di dalam pemindai EUV
Lihat bagian dalam pemindai EUV dalam 3D. Gerakan pemindaiannya mengikuti EUV calculation.
EUV clip
EUV clip menghitung aerial image thin-mask untuk klip dari layout GDS di perangkat Anda.
Process models
Dua panel data terukur menampilkan model yang dibuat dari kumpulan data publik. Keduanya adalah contoh edukatif, bukan model fab Anda.
Batasan yang diketahui
Periksa alur kerja yang didukung.
- Dengan WebGPU, tampilan 3D menggunakan rendering realistis pada tingkat kualitas yang dipilih untuk GPU Anda. Tanpa WebGPU, vFactory menggunakan WebGL2 pada tingkat Low, dan tanpa keduanya menampilkan denah 2D.
- Di EUV clip, pencitraan Cloud belum tersedia. Gunakan tiling lokal di perangkat Anda.