vFactory
Reference fab, simulation à graine et Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory est un nouvel espace, à côté de DDS et ALcad, dédié aux procédés sur wafer et aux fabs.
Ses vues sont Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation et EUV clip. vFactory est disponible dans les 14 langues prises en charge.
Reference fab
Une fab logique de 300 équipements sur quatre niveaux.
Reference fab ouvre une fab logique de 300 équipements, dont quatre scanners EUV, sur quatre niveaux : salle blanche, niveau des ventilateurs, sous-fab et niveau des utilités. Choisissez entre 200 et 400 équipements ou importez un fichier de modèle de fab.
Zone de lithographie
Hypothèses documentées
Toutes les valeurs numériques de procédé et de bâtiment sont des hypothèses documentées, et non des données issues d’une fab réelle.
2D et 3D
Vue de dessus ou à hauteur des yeux.
Explorez la fab sur une carte 2D, en 3D, vue de dessus ou à hauteur des yeux.
Simulations
Simulations de fab à graine.
Les simulations de fab utilisent une graine : une même graine donne le même résultat. Vous pouvez importer un fichier de modèle de fab et l’exécuter de bout en bout, y compris les fenêtres de maintenance préventive et les pauses des opérateurs.
- Rejouez une simulation terminée dans la scène de la fab à une vitesse de 1× à 100 000×, avec pause, redémarrage et curseur temporel.
- Le rejeu montre les états des équipements, les lots et les déplacements de FOUP entre équipements, exactement tels que le moteur les a enregistrés.
Design to wafer
Ouvrez un layout dans Design to wafer.
Dans la vue de layout GDS d’un projet Cloud, Send to vFactory ouvre Design to wafer avec ce layout. Elle affiche une carte de wafer de 300 mm, des estimations de rendement selon Poisson, Murphy et la loi binomiale négative, avec la densité de défauts comme hypothèse indiquée, les lots dans la Reference fab, le temps de cycle et la livraison.
Carte de wafer de 300 mm
Estimations de rendement selon Poisson, Murphy et la loi binomiale négative
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Vous pouvez suivre un lot dans la fab 3D et enregistrer le résultat dans le projet.
EUV calculation
De la source au wafer.
EUV calculation estime les bilans de photons et de puissance de la source au wafer, y compris les miroirs multicouches Mo/Si, avec des préréglages modifiables. Le modèle n’est pas calibré, et chaque hypothèse est indiquée.
Vues
Explorez la fab.
Menu des produits
Dans le menu des produits, choisissez vFactory → Wafer Process & Fab, auparavant sous ALcad.
À hauteur des yeux
Déplacez-vous avec W, A, S et D, ouvrez les portes avec E et empruntez les escaliers.
Étiquettes des équipements et distances
Suivez une visite guidée des zones de procédé, lisez les étiquettes des équipements et mesurez des distances.
À l’intérieur d’un scanner EUV
Regardez à l’intérieur d’un scanner EUV en 3D. Son mouvement de balayage suit EUV calculation.
EUV clip
EUV clip calcule sur votre appareil une image aérienne à masque mince pour un extrait de layout GDS.
Process models
Deux panneaux de données mesurées présentent des modèles construits à partir de jeux de données publics. Ce sont des exemples pédagogiques, et non des modèles de votre fab.
Limitations connues
Consultez les flux de travail pris en charge.
- Avec WebGPU, les vues 3D utilisent un rendu réaliste à un niveau de qualité choisi pour votre GPU. Sans WebGPU, vFactory utilise WebGL2 au niveau Low et, sans l’un ni l’autre, affiche le plan 2D.
- Dans EUV clip, le calcul d’images dans Cloud n’est pas encore disponible. Utilisez le tuilage local sur votre appareil.