vFactory
Reference fab, моделирование с seed и Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory — новый раздел рядом с DDS и ALcad для процессов обработки пластин и фабрик.
Его представления: Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation и EUV clip. vFactory доступен на всех 14 поддерживаемых языках.
Reference fab
Фабрика логических микросхем из 300 установок на четырёх уровнях.
Reference fab открывает фабрику логических микросхем из 300 установок, включая четыре EUV-сканера, на четырёх уровнях: чистое помещение, этаж вентиляторов, субфаб и этаж инженерных систем. Выберите от 200 до 400 установок или импортируйте файл модели фабрики.
Зона литографии
Задокументированные допущения
Все числовые значения процессов и здания — задокументированные допущения, а не данные реальной фабрики.
2D и 3D
Сверху или на уровне глаз.
Изучайте фабрику на 2D-карте, в 3D, сверху или на уровне глаз.
Моделирование
Моделирование фабрики с seed.
Моделирование фабрики использует seed, поэтому один и тот же seed даёт один и тот же результат. Можно импортировать файл модели фабрики и выполнить его от начала до конца, включая окна профилактического обслуживания и перерывы операторов.
- Воспроизводите завершённое моделирование в сцене фабрики со скоростью от 1× до 100 000×, с паузой, перезапуском и ползунком времени.
- Воспроизведение показывает состояния установок, партии и перемещения FOUP между установками точно так, как их записал движок.
Design to wafer
Откройте топологию в Design to wafer.
В представлении топологии GDS проекта Cloud команда Send to vFactory открывает Design to wafer с этой топологией. Design to wafer показывает карту 300-мм пластины, оценки выхода годных по моделям Пуассона, Мерфи и отрицательного биномиального распределения с плотностью дефектов в качестве обозначенного допущения, партии в Reference fab, время цикла и сроки поставки.
Карта 300-мм пластины
Оценки выхода годных по моделям Пуассона, Мерфи и отрицательного биномиального распределения
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Можно отследить партию в 3D-фабрике и сохранить результат в проекте.
EUV calculation
От источника до пластины.
EUV calculation оценивает бюджеты фотонов и мощности от источника до пластины, включая многослойные зеркала Mo/Si, с редактируемыми предустановками. Модель не откалибрована, и каждое допущение обозначено.
Представления
Изучите фабрику.
Меню продуктов
В меню продуктов выберите vFactory → Wafer Process & Fab; раньше этот пункт находился в ALcad.
На уровне глаз
Перемещайтесь клавишами W, A, S и D, открывайте двери клавишей E и пользуйтесь лестницами.
Метки установок и расстояния
Пройдите экскурсию с гидом по технологическим зонам, читайте метки установок и измеряйте расстояния.
Внутри EUV-сканера
Загляните внутрь EUV-сканера в 3D. Его сканирующее движение соответствует EUV calculation.
EUV clip
EUV clip рассчитывает на вашем устройстве воздушное изображение в приближении тонкой маски для фрагмента топологии GDS.
Process models
Две панели измеренных данных показывают модели, построенные на общедоступных наборах данных. Это учебные примеры, а не модели вашей фабрики.
Известные ограничения
Проверьте поддержку рабочего процесса.
- С WebGPU 3D-представления используют реалистичный рендеринг с уровнем качества, выбранным для вашего GPU. Без WebGPU vFactory использует WebGL2 на уровне Low, а без обоих показывает 2D-план.
- В EUV clip расчёт изображений в Cloud пока недоступен. Используйте локальное разбиение на тайлы на вашем устройстве.