vFactory
레퍼런스 팹, seed 기반 시뮬레이션, Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory는 웨이퍼 공정과 팹을 위해 DDS와 ALcad 옆에 새로 생긴 영역입니다.
레퍼런스 팹, 공정 모델, Design to wafer, EUV 계산, EUV 클립 화면으로 구성됩니다. vFactory는 지원하는 14개 언어 모두에서 사용할 수 있습니다.
레퍼런스 팹
네 개 층에 장비 300대를 배치한 로직 팹.
레퍼런스 팹은 EUV 스캐너 네 대를 포함한 장비 300대로 이루어진 로직 팹을 클린룸, 팬 데크, 서브팹, 유틸리티 층의 네 개 층으로 엽니다. 장비를 200~400대 범위에서 선택하거나 팹 모델 파일을 가져오세요.
리소그래피 구역
문서화된 가정값
공정과 건물에 관한 모든 수치는 문서화된 가정값이며 실제 팹의 데이터가 아닙니다.
2D와 3D
위에서 또는 눈높이에서.
2D 맵에서, 3D에서, 위에서 또는 눈높이에서 팹을 둘러보세요.
시뮬레이션
seed 기반 팹 시뮬레이션.
팹 시뮬레이션은 seed를 사용하므로 같은 seed는 같은 결과를 냅니다. 팹 모델 파일을 가져와 예방 정비 시간대와 작업자 휴식을 포함해 처음부터 끝까지 실행할 수 있습니다.
- 끝난 시뮬레이션을 팹 장면에서 1×~100,000× 속도로 다시 재생하세요. 일시 정지, 다시 시작, 시간 슬라이더를 사용할 수 있습니다.
- 재생 화면은 장비 상태, 로트, 장비 간 FOUP 이동을 엔진이 기록한 그대로 보여 줍니다.
Design to wafer
레이아웃을 Design to wafer로 여세요.
Cloud 프로젝트의 GDS 레이아웃 화면에서 Send to vFactory를 선택하면 그 레이아웃으로 Design to wafer가 열립니다. 300 mm 웨이퍼 맵, 결함 밀도를 표시된 가정값으로 둔 Poisson·Murphy·음이항 수율 추정치, 레퍼런스 팹의 로트, 사이클 타임과 납기를 보여 줍니다.
300 mm 웨이퍼 맵
Poisson·Murphy·음이항 수율 추정치
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- 3D 팹에서 로트를 추적하고 결과를 프로젝트에 저장할 수 있습니다.
EUV 계산
광원에서 웨이퍼까지.
EUV 계산은 Mo/Si 다층 미러를 포함해 광원에서 웨이퍼까지의 광자 버짓과 파워 버짓을 추정하며, 편집할 수 있는 프리셋을 제공합니다. 이 모델은 보정되지 않았으며, 모든 가정값이 표시되어 있습니다.
화면
팹을 둘러보세요.
제품 메뉴
제품 메뉴에서 vFactory → 웨이퍼 공정 및 팹을 선택하세요. 이 화면은 이전에 ALcad 아래에 있었습니다.
눈높이에서
W, A, S, D로 걷고, E로 문을 열고, 계단을 이용하세요.
장비 태그와 거리
가이드 투어를 따라 공정 구역을 둘러보고, 장비 태그를 읽고, 거리를 측정하세요.
EUV 스캐너 내부
EUV 스캐너 내부를 3D로 살펴보세요. 스캔 동작은 EUV 계산을 따릅니다.
EUV 클립
EUV 클립은 사용자 기기에서 GDS 레이아웃 클립의 thin-mask 에어리얼 이미지를 계산합니다.
공정 모델
두 측정 데이터 패널은 공개 데이터 세트로 만든 모델을 보여 줍니다. 이 모델은 교육용 예시이며 사용자의 팹을 나타내지 않습니다.
알려진 제한 사항
지원되는 워크플로를 확인하세요.
- WebGPU가 있으면 3D 화면이 GPU에 맞게 선택된 품질 단계에서 사실적으로 렌더링됩니다. WebGPU가 없으면 vFactory는 Low 단계의 WebGL2를 사용하고, 둘 다 없으면 2D 평면을 보여 줍니다.
- EUV 클립에서는 아직 Cloud 이미징을 제공하지 않습니다. 사용자 기기에서 로컬 타일링을 사용하세요.