vFactory
Reference fab, Simulation mit Seed und Design to wafer.
Windows · Linux · Cloud
vFactory ist ein neuer Bereich neben DDS und ALcad für Waferprozesse und Fabs.
Seine Ansichten sind Reference fab, Process models, Design to wafer, EUV calculation und EUV clip. vFactory ist in allen 14 unterstützten Sprachen verfügbar.
Reference fab
Eine Logik-Fab mit 300 Anlagen auf vier Ebenen.
Reference fab öffnet eine Logik-Fab mit 300 Anlagen, darunter vier EUV-Scanner, auf vier Ebenen: Reinraum, Ventilatorebene, Subfab und Versorgungsebene. Wählen Sie zwischen 200 und 400 Anlagen oder importieren Sie eine Fab-Modelldatei.
Lithografiezone
Dokumentierte Annahmen
Alle numerischen Prozess- und Gebäudewerte sind dokumentierte Annahmen, keine Daten aus einer realen Fab.
2D und 3D
Von oben oder auf Augenhöhe.
Erkunden Sie die Fab auf einer 2D-Karte, in 3D, von oben oder auf Augenhöhe.
Simulationen
Fab-Simulationen mit Seed.
Fab-Simulationen verwenden einen Seed, daher liefert derselbe Seed dasselbe Ergebnis. Sie können eine Fab-Modelldatei importieren und von Anfang bis Ende ausführen, einschließlich Zeitfenstern für vorbeugende Wartung und Bedienerpausen.
- Spielen Sie eine abgeschlossene Simulation in der Fab-Szene mit einer Geschwindigkeit von 1× bis 100.000× erneut ab, mit Pause, Neustart und Zeitschieberegler.
- Die Wiedergabe zeigt Anlagenzustände, Lose und FOUP-Bewegungen zwischen Anlagen genau so, wie die Engine sie aufgezeichnet hat.
Design to wafer
Öffnen Sie ein Layout in Design to wafer.
In der GDS-Layoutansicht eines Cloud-Projekts öffnet Send to vFactory Design to wafer mit diesem Layout. Es zeigt eine 300-mm-Wafermap, Ausbeuteschätzungen nach Poisson, Murphy und negativer Binomialverteilung mit der Defektdichte als gekennzeichneter Annahme, Lose in der Reference fab, Durchlaufzeit und Liefertermin.
300-mm-Wafermap
Ausbeuteschätzungen nach Poisson, Murphy und negativer Binomialverteilung
Design: Caravel by efabless, Apache-2.0.
- Sie können ein Los in der 3D-Fab verfolgen und das Ergebnis im Projekt speichern.
EUV calculation
Von der Quelle bis zum Wafer.
EUV calculation schätzt Photonen- und Leistungsbudgets von der Quelle bis zum Wafer, einschließlich der Mo/Si-Mehrschichtspiegel, mit bearbeitbaren Voreinstellungen. Das Modell ist nicht kalibriert, und jede Annahme ist gekennzeichnet.
Ansichten
Erkunden Sie die Fab.
Produktmenü
Wählen Sie im Produktmenü vFactory → Wafer Process & Fab; dieser Eintrag lag zuvor unter ALcad.
Auf Augenhöhe
Bewegen Sie sich mit W, A, S und D, öffnen Sie Türen mit E und nutzen Sie die Treppen.
Anlagenbeschriftungen und Abstände
Folgen Sie einer geführten Tour durch die Prozessbereiche, lesen Sie Anlagenbeschriftungen und messen Sie Abstände.
Im Inneren eines EUV-Scanners
Sehen Sie in 3D in einen EUV-Scanner hinein. Seine Scanbewegung folgt EUV calculation.
EUV clip
EUV clip berechnet auf Ihrem Gerät ein Dünnmasken-Luftbild für einen Ausschnitt eines GDS-Layouts.
Process models
Zwei Messdaten-Panels zeigen Modelle, die aus öffentlichen Datensätzen erstellt wurden. Sie sind Lehrbeispiele, keine Modelle Ihrer Fab.
Bekannte Einschränkungen
Prüfen Sie die unterstützten Workflows.
- Mit WebGPU nutzen die 3D-Ansichten realistisches Rendering in einer für Ihre GPU gewählten Qualitätsstufe. Ohne WebGPU verwendet vFactory WebGL2 in der Stufe Low, und ohne beides zeigt es den 2D-Plan.
- In EUV clip ist die Bildberechnung in Cloud noch nicht verfügbar. Verwenden Sie die lokale Kachelung auf Ihrem Gerät.